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蒸发电极材料

中诺新材 2018-04-22

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真空蒸镀是指真空条件下,将镀料加热蒸发或升华,材料的原子或分子直接在衬底上成膜的技术。常见的真空蒸镀技术有以下几种:

1,电阻加热蒸发

采用电阻加热蒸发源的蒸发镀膜技术,一般用于蒸发低熔点材料,如铝、金、银、铝、硫化锌、氟化镁等;加热电阻一般采用钨、钼、钽等。

电阻蒸发.jpg

优点:结构简单、成本低。

缺点:材料易与坩埚反应,影响薄膜纯度;不能蒸镀高熔点的介电薄膜;蒸发率低。

2,电子束蒸发

利用高速电子束加热使材料汽化蒸发,在基片表面凝结成膜的技术。电子束热源的能量很高,可达到3000℃以上,可蒸发高熔点的金属或介电材料如钨、钼、锗、SiO2、Al2O3等。

电子束蒸发.jpeg

优点:可蒸发任何材料;薄膜纯度高;直接作用于材料表面,热效率高。

缺点:电子枪结构复杂,造价高;化合物沉积时易分解,化学比失调。

3,激光蒸发

采用高能激光束对材料进行蒸发,用以形成薄膜的方法,一般称为激光蒸镀。

激光蒸发.gif

优点:薄膜纯度高;蒸发速率高;特别适合蒸发成分复杂的合金或化合物,膜层的化学计量比与靶材保持一致。

缺点:易产生微小颗粒飞溅,影响薄膜质量。


中诺新材是专业的蒸发镀膜材料生产厂家,可以提供各种高纯度金属材料。广泛应用于半导体行业,太阳能电池,微纳器件加工等领域。

蒸发电极材料.png

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